国家知识产权局信息显示,费勉仪器科技(南京)有限公司、合肥费勉仪器科技有限公司取得一项名为“电子束蒸发源的冷却装置以及真空处理系统”的专利,授权公告号CN223633445U,申请日期为2024年12月。专利摘要显示,本公开涉及真空设备技术领域,公开了一种电子束蒸发源的冷却装置以及真空处理系统。电子束蒸发源的冷却装置包括冷却腔体、进液管和出液管。冷却腔体用于冷却液流通,并设置在一个或多个电子束蒸发源上方,与电子束蒸发源热耦合,用于冷却电子束蒸发源。进液管与冷却腔体连通,用于向冷却腔体内通入冷却液。出液管与冷却腔体连通,用于从冷却腔体内排出冷却液。天眼查资料显示,费勉仪器科技(南京)有限公司,成立于2017年,位于南京市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过